32 ASML 但 出口中国依然受限 入华 中国光刻机之殇 EUV 700 已出货 年 多台
中国需要光刻机,尤其是支持先进制程的高端光刻机。
具体来说,就是 EUV (极紫外光源)光刻机。
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目前,世界上能够制造 EUV 光刻机的,只有一家公司,它就是荷兰光刻机巨头 ASML(中文名为阿斯麦)。实际上,作为一家外企,ASML 进入到中国市场已经超过 30 年,可以说是渊源深厚。
但是,由于商业之外的原因,ASML 无法向中国大陆市场出口 EUV 光刻机,尽管它自己其实是非常乐意的。
背后的始作俑者,还是美国。
ASML 与中国市场的深厚渊源
中国大陆市场,一直是 ASML 在全球范围内最重要的市场之一。
以 2020 年为例,ASML 在第二季度总共卖出了 61 台光刻机(包括新设备和二手设备),在第三季度卖出了 60 台——这其中,有超过 24 台是卖给了中国大陆。
按照 ASML 全球副总裁、中国区总裁沈波的说法,2020 年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的 20%。
当然,这些出售到中国大陆的光刻机,不包含 EUV 设备。
对此,沈波表示:
可以看到,如果排除外界因素的干扰,ASML 自身是很有诚意与中国合作的。
雷锋网了解到,ASML 成立于 1984 年;当时,市面上尚有多家生产光刻机的公司,而 ASML 位居最后一名。不过,仅用 2 年时间,ASML 就研制出了型号为 PAS2500 的晶圆步进式光刻机(Stepper),它可以生产 VLSI 一代的芯片,这使 ASML 在市场上站稳了脚跟,并拥有了一定的名气。
值得一提的是,早在 1988 年,ASML 在进军亚洲之时,就向中国大陆发售了最早一台设备。
经过三十多年的深耕,ASML 在中国大陆已经出售 700 多台光刻机装机,涵盖了 ASML 公司的(EUV 设备之外)的绝大部分类型产品。
不仅如此,在 2000 年天津成立分公司的基础上,ASML 目前在中国设有 12 个办公室,11 个仓储物流中心,2 处技术开发中心(深圳和北京,做计算光刻、量测等开发),拥有 1000 多名员工。
图自:澎湃新闻
此外,ASML 还在中国专门建设了 1 个培训中心,培养光刻行业人才。
正如沈波所言,在遵守法律法规的同时,ASML 全力支持客户和中国集成电路行业的发展,在每个阶段 ASML 和中国集成电路业界都有着很好的合作。
他还表示,ASML 在中国的整体状态越来越好,未来服务会更多样化,对中国的投入也会越来越大。
EUV 光刻机未能出口中国大陆的根本原因
作为全球最大的光刻机企业,ASML 独自享受着 EUV 光刻机技术带来的商业发展便利,但同时也不得不承受大国竞争和冲突下的沉重政治枷锁。
一个典型的案例,就是 EUV 光刻机向中国大陆出口受阻。
EUV 光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品,由于采用了极紫外线,它的最小工业节点到了 22nm-7nm,可以说是世界上最先进的光刻机设备——而这种设备,只有 ASML 能造出来。
在 EUV 技术的研发层面,ASML 也经历了艰苦跋涉的过程。
实际上 ASML 从 1999 年就开始 EUV 光刻机的研发工作,原计划在 2004 年推出产品,但直到 2010 年才研发出第一台 EUV 原型机,2016 年才实现下游客户供货——甚至到 2019 年,第一款 7nm EUV 工艺的芯片才正走向商用。
不过,在美国主导的《瓦森纳协定》(Wassenaar Arrangement)的影响下,这一高端设备对中国大陆的出口受到严格限制——一直到 2018 年才发生转机。
2018 年 4 月,中芯国际向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机,价值 1.2 亿美元,预计 2019 年年初交货——后来此事被报道后,ASML 回应称,对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁,且向中国出售 EUV 光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。
当时,荷兰政府的确向 ASML 发放了出口许可证。
然而,天有不测风云,这场交易从一开始就受到阻碍。根据知情人士的说法,美国立即盯上了这笔交易——接下来的几个月里,美方官员至少四次与荷兰官员开会,讨论可否直接封杀这笔交易。
但雪上加霜的是,2018 年 12 月 1 日,ASML 元件供应商 PROdrive 的一家工厂又发生重大火灾,ASML 当时公开表示,2019 年年初的出货预计将遭递延。
与此同时,美国政府继续就这笔交易进行背后运作。
2019 年元旦前后,美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的 “安全风险”;随后在 2019 年 6 月,美国国务卿蓬佩奥访问荷兰,再次向荷兰政府施加压力,要求停止这笔交易。
值得一提的是,2019 年 6 月 30 日,荷兰政府向 ASML 颁发的出口许可证到期。
2019 年 7 月,荷兰首相Mark Rutte 访问美国,美国白宫高级官员向他展示了一份情报报告,内容是所谓 “中国获得光刻机的可能后果”。据路透社报道,这次访问后不久,荷兰政府决定不再续签这份许可证——此后 ASML 未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。
此后,关于 EUV 光刻机向中国大陆出口,ASML 的官方说法一直是:公司仍在等待新许可证申请的批准。而针对媒体对于美国施压的报道,荷兰外交部也在 2020 年在 1 月 15 日表示:
由此,ASML 向中国市场出售 EUV 光刻机的计划,就此搁置。
小结
2020 年,随着美国对中国半导体领域的打压,国人对于光刻机的关注度越来越高,而 ASML 也因此受到关注。
但能否向中国大陆出售 EUV 光刻机,的确非 ASML 所能左右。
可以确定的是,对于向中国大陆市场出售光刻机一事,ASML 一直是非常积极的。根据 ASML 中国区总裁沈波的最新说法,ASML 已经向荷兰政府提交出口 EUV 光刻机的申请,目前还在等待荷兰政府的出口许可证。
而荷兰政府,则还在等待美国政府的态度。
当然,目前美国政府的态度也存在不确定性,特朗普眼下必然无心考虑此事,恐怕一切还要等到明年新一届美国政府正式上任之后。
思考题:
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